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공지사항


'NEW' 차세대 정전 척(ESC) 전원 공급 장치 출시 - MATSUSADA PRECISION

관리자 2024-05-08 조회수 175

(정전 척(ESC) 파워서플라이 - 벤치탑) - HECD 시리즈


- 최대 전압 : ±0.5 ~ ±7.5kV
- 최대 전류 : 1~20mA

정전 척 드라이버를 위한 2채널, 가역, 플로팅, 프로그래밍 가능 고전압 전원 공급 장치

빠른 디척킹으로 처리량 증가를 가능하게 하는 극성 반전

- 웨이퍼 센서를 통한 신뢰성 있는 척킹/디척킹 상태 감지

- 다양한 척/디척 동작을 위한 “2채널 독립 제어(옵션)” 및 “센터 탭을 이용한 출력(옵션)”

- RF 필터 내장(13.56MHz)
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