Electrostatic Chuck power supply - Rack mount

Matsusada (정전척 전원 공급 장치 - 랙 마운트) - ECA 시리즈 - Matsusada Precision

단일/2채널 출력, 랙마운트 및 바이폴라 유형 ±1KV ~ ±10KV/5W, 6W, 10W, 30W

ECA 시리즈는 정전척 어플리케이션을 위해 특별히 개발된 고전압 전원 공급 장치입니다. 웨이퍼는 DC ON/OFF로 고정하거나 해제할 수 있습니다. 극성을 반전하여 척을 부드럽게 해제할 수도 있습니다. 이 정전척 전원 공급 장치는 단극 시스템(2ch) 또는 양극 시스템에 적합한 편리한 전원 공급 장치입니다. ±1kV ~ ±10kV의 광범위한 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형과 Coulomb 유형에 모두 대응합니다.

정전척(E-Chuck, ESC)

- 라이프텍 인스트루먼트 (Lifetech Instruments)

- Matsusada Precision (마츠사다,마쯔사다) 제품군

(1) AC DC 파워서플라이, (교류,직류) 전원공급기, 전원공급장치 (AC DC Power Supply)

(2) 고전압 직류 파워서플라이 (High Voltage DC Power Supply, HV Power Supply)

(3) 전압 증폭기, 바이폴라 파워서플라이 (Voltage Amplifier, Bipolar Power Supply)

(4) 고전압 증폭기, 펄스 제너레이터, 펄스 파워서플라이 (High Voltage (HV) Amplifier, Pulse Generator, Pulse Power Supply)

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