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PRODUCT

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

제품명 : MEC series
제조사 : Matsusada Precision

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

Module Type E-Chuck Power Supply

출력 전압 : ±1 to ±10 kV
출력 전류 : 1 to 10 mA
출력 전력 : 10 W
견적문의

Overview

정전기 척 전원 공급 장치 가역 모듈

MEC 시리즈는 정전기식 척(E-Chuck) 애플리케이션에 특화된 고전압 가역 전원 공급 모듈입니다. 컴팩트한 폼 팩터로 산업 시스템에 쉽게 통합할 수 있으며, 극성 반전 기능으로 웨이퍼의 원활한 분리가 가능합니다. ±1kV에서 ±10kV까지 폭넓은 제품군을 제공하며, 존슨-라벡(Johnsen-Rahbek)형 및 쿨롱(Coulomb)형 척을 모두 지원합니다.

특징 및 장점

  • 정전기식 척(E-Chuck) 적용 분야에 최적화되어 있습니다.
  • 웨이퍼의 원활한 분리를 위한 가역 출력 극성
  • 출력 전압 및 극성 전환의 원격 제어
  • 출력 전압 및 전류 모니터가 장착되어 있습니다.

주요 응용 프로그램

  • 정전기 척(E-Chuck)

Models

모델
출력
전압 [kV]전류 [mA]
MEC-1R100 ~ ±1 kV10mA
MEC-1.5R6.60 ~ ±1.5 kV6.6 mA
MEC-2R50 ~ ±2 kV5mA
MEC-3R3.30 ~ ±3 kV3.3 mA
MEC-5R20 ~ ±5 kV2mA
MEC-10R10 ~ ±10 kV1mA

Apperance

옵션

-L(1m)

고전압 출력 케이블 (1m)

-L(3m)

고전압 출력 케이블 3미터

-L(5m)

고전압 출력 케이블 5미터

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