E-CHUCK 애플리케이션을 위한 소형 고전압 전원 공급 장치

Matsusada Precision ECU 시리즈는 정전척(E-Chuck) 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 소형 고전압 전원 공급 장치입니다. ±0.5kV ~ ±5kV 전압 범위와 2W ~ 10W 전력 정격의 듀얼 채널 출력을 제공합니다. 주요 기능으로는 출력 가역성, 원활한 릴리스를 위한 접지 기능, 통합 RF 필터, 다양한 제어 옵션(로컬, 원격 또는 RS-232C)이 있습니다. 이 시리즈는 전압 및 전류 사양이 다른 다양한 모델로 제공됩니다. 원활한 척 및 탈척 작업을 위한 출력 ON/OFF 및 극성 반전 기능이 장착되어 있습니다. ECU 시리즈는 반도체 제조 및 연구 환경에서 정전척의 정밀한 제어가 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.