본문 바로가기 주메뉴 바로가기

PRODUCT

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

제품명 : EJC series
제조사 : Matsusada Precision

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

E-Chuck 고전압 전원 공급 장치

출력 전압 : ±1kV ~ ±10kV
출력 전력 : 6W,10W,30W
단일 채널 출력
빠른 대응 모델
견적문의

Overview

단일 채널, 벤치탑 바이폴라 유형 ±1KV ~ ±5KV/6W, 30W

EJC 시리즈는 정전척(E-Chuck, ESC) 애플리케이션을 위해 특별히 개발된 고전압 전원 공급 장치입니다. DC ON/OFF로 척 ON/OFF가 가능합니다. 극성을 반전하여 웨이퍼를 부드럽게 릴리스할 수도 있습니다. ±1kV ~ ±5kV의 광범위한 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형과 Coulomb 유형에 모두 대응합니다.

특징 및 이점

  • 특별히 정전척(E-Chuck, ESC) 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
  • 앰프 구조로 빠른 응답(100ms)
  • 양극성 출력
  • 통합 RF 필터(옵션)
  • 릴레이가 없어 수명이 길고 신뢰성이 높음

주요 응용 프로그램

  • 정전척(E-Chuck, ESC)

Models

출력
모델
전압 [kV]전류 [mA]
-1 to +1 kV
6 mAEJC-1B6
30 mAEJC-1B30
-2 to +2 kV
3 mAEJC-2B3
15 mAEJC-2B15
-3 to +3 kV
2 mAEJC-3B2
10 mAEJC-3B10
-4 to +4 kV
1.5 mAEJC-4B1.5
7.5 mAEJC-4B7.5
-5 to +5 kV
1.2 mAEJC-5B1.2
6 mAEJC-5B6

Apperance

옵션

-LPo
극성 변경
로컬: 토글 스위치
원격: 접점 입력
-LRf(13.56M)

RF 필터 13.56MHz
* -LRf(500k)와 함께 사용할 수 없습니다.

-LRf(500k)

RF 필터 500 kHz
* -LRf(13.56M)과 함께 사용할 수 없습니다.

-L(7m)

고전압 출력 케이블 길이 7m * 2

맨위로