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PRODUCT

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

제품명 : HECD series
제조사 : Matsusada Precision

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

"NEW" 정전척 전원공급장치

출력 전압 : ±0.5 ~ ±7.5 kV
출력 전류 : 1~20mA
2채널 출력형
하프 랙 사이즈의 컴팩트한 디자인
견적문의

Overview

정전 척 드라이버를 위한 2채널, 가역, 플로팅, 프로그래밍 가능 고전압 전원 공급 장치입니다.

HECD 시리즈는 정전 척 드라이버를 위한 2채널, 가역, 플로팅, 프로그래밍 가능 고전압 전원 공급 장치입니다. 극성 스위칭 및 강제 접지 외에도 이 시리즈는 웨이퍼 감지 요구 사항을 충족하는 웨이퍼 모니터링 시스템을 제공합니다. 또한 이 시리즈는 광범위한 전압으로 쿨롱 및 존슨-라벡 정전 척을 모두 지원할 수 있습니다.

특징 및 이점

  • 하프 랙 사이즈의 컴팩트한 디자인
  • 빠른 디척킹으로 처리량 증가를 가능하게 하는 극성 반전
  • 웨이퍼 센서에 의한 신뢰성 척킹/디척킹 상태 감지
  • 증폭기 구조 설계로 빠른 응답성(비릴레이 극성 역전 설계로 높은 신뢰성과 장수명)
  • 다양한 척/디척 작업을 위한 "2채널 독립 제어(옵션)" 및 "센터 탭을 사용한 출력(옵션)"
  • LAN, USB, RS-232C, Ether CAT와의 디지털 인터페이스(옵션)
  • 내장형 RF 필터(13.56MHz)
  • 웨이퍼 크기와 애플리케이션에 맞는 선택 가능한 모델
  • OEM 가능(4ch, 6ch, 디지털 통신, 다른 출력 전력)

응용 프로그램

  • 반도체 제조 장비
  • 포토리소그래피
  • 화학 기상 증착(CVD)
  • 플라스마 강화 CVD (PECVD)
  • 정전척(E-Chuck, ESC)
  • 반도체 제조 장비
  • 플랫 패널 취급
  • 반응성 이온 에칭(RIE)

Models

출력
출력 응답 속도 [typ] (90%<->+90%)
모델
최대 전압 (채널별)전류 (채널별)
+0.5kV, -0.5kV20 mA10 msHECD-0.5B20×2
+1kV, -1kV10 mA10 msHECD-1B10×2
+1.5kV, -1.5kV6 mA15 msHECD-1.5B6×2
+2kV, -2kV5 mA20 msHECD-2B5×2
+4kV, -4kV1 mA40 msHECD-4B1×2
+4kV, -4kV2.5 mA40 msHECD-4B2.5×2
+5kV, -5kV2 mA60 msHECD-5B2×2
+7.5kV, -7.5kV1.2 mA90 msHECD-7.5B1.2×2

Apperance

옵션

-LCm

추가 고감도 전류 모니터(각 Ch)
0~+10V/정격 출력 전류의 -1/100~정격 출력 전류의 +1/100

-LSep
2채널 독립 제어
-L(AC)

AC 100V ~ 240V, 1 Ø입력

-L(7m)

출력 고전압 케이블 7미터 * 3
(-LCt 또는 -LSep 선택 시 2개)

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