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PRODUCT

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

제품명 : ECA series
제조사 : Matsusada Precision

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

정전척 전원공급장치

출력 전압 : ±1kV ~ ±10kV
출력 전력 : 6W,10W,30W
양극성 출력
2ch 출력
견적문의

Overview

단일/2채널 출력, 랙마운트 및 바이폴라 유형 ±1KV ~ ±10KV/5W, 6W, 10W, 30W

ECA 시리즈는 정전척 어플리케이션을 위해 특별히 개발된 고전압 전원 공급 장치입니다. 웨이퍼는 DC ON/OFF로 고정하거나 해제할 수 있습니다. 극성을 반전하여 척을 부드럽게 해제할 수도 있습니다. 이 정전척 전원 공급 장치는 단극 시스템(2ch) 또는 양극 시스템에 적합한 편리한 전원 공급 장치입니다. ±1kV ~ ±10kV의 광범위한 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형과 Coulomb 유형에 모두 대응합니다.

특징 및 이점

  • 정전척(E-Chuck, ESC) 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다.
  • 2개의 출력 채널
  • 양극성 출력
  • RF 필터 내장 가능(옵션)
  • 앰프 구조로 빠른 응답(100ms)
  • 릴레이를 사용하지 않아 신뢰성이 높고 수명이 길다

주요 응용 프로그램

  • 정전척(E-Chuck)

Models

출력
채널
모델
전압 [kV]전류 [mA]
0 t ±1 kV
6 mA2chECA-1B6 x 2
30 mA2chECA-1B30 x 2
0 to ±3 kV
2 mA2chECA-3B2 x 2
10 mA2chECA-3B10 x 2
0 to ±5 kV
1 mA2chECA-5B1 x 2
6 mA2chECA-5B6 x 2
0 to ±10 kV
1 mA2chECA-10B1 x 2
0.5 mA1chECA-10B0.5
3 mA1chECA-10B3

Apperance

옵션

-LPo

극성 변경
로컬: 토글 스위치
원격: 접점 입력(채널별)

-LRf(13.56M)

RF 필터 13.56MHz

-LRf(500k)

RF 필터 500kHz

-L(7m)
고전압 출력 케이블 7m 길이 * 2
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