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PRODUCT

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

제품명 : EC series
제조사 : Matsusada Precision

마쯔사다(마츠사다) 정밀 - 고전압 파워서플라이

정전척 전원공급장치

출력 전압 : ±1kV ~ ±10kV
출력 전력 : 200W
듀얼 출력
Reversible type
견적문의

Overview

2채널 출력, 랙마운트 가역형 ±1KV ~ ±10KV/200W

EC 시리즈는 정전척 어플리케이션을 위해 특별히 개발된 고전압 전원 공급 장치입니다. DC ON/OFF로 척 ON/OFF가 가능합니다. 극성을 반전하여 웨이퍼를 부드럽게 릴리스할 수도 있습니다. 이 정전척 전원 공급 장치는 단극 시스템(2채널) 또는 양극 시스템에 적합한 편리한 전원 공급 장치입니다. ±1kV ~ ±10kV의 광범위한 제품 범위로 인해 Johnsen-Rahbek 유형과 Coulomb 유형에 모두 대응합니다.

특징 및 이점

  • 정전척(E-Chuck, ESC) 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다.
  • 2개의 출력 채널을 갖추고 있으며 1개의 유닛만 있는 바이폴라 시스템에 적합합니다.
  • 가역 출력
  • 극성 반전 기능으로 웨이퍼의 원활한 방출
  • 컴팩트하고 고출력

주요 응용 프로그램

  • 정전척(E-Chuck, ESC)

Models

출력
모델
전압 [kV] (채널별)전류 [mA] (채널별)
0 to ±1 kV200 mAEC-1R200 x 2
0 to ±3 kV67 mAEC-3R67 x 2
0 to ±5 kV40 mAEC-5R40 x 2
0 to ±6 kV33 mAEC-6R33 x 2
0 to ±10 kV20 mAEC-10R20 x 2

Apperance

옵션

-LRf(500k)

RF 필터 : 500kHz *

-LRf(13.56M)

RF 필터 : 13.56MHz *

-L(220V)
200 Vac ~ 240 Vac 단상 입력
-L(230V)

210 Vac ~ 250 Vac 단상 입력

-L(7m)

고전압 출력 케이블 7m 길이 * 2

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