SEM, 반도체 검사 시스템 전원 공급 장치

AESS 시리즈 고전압 전원 공급 장치(Hig Voltage Power Supply)는 초저 리플(ultra-low ripple), 낮은 온도 계수 및 높은 안정성을 특징으로 하는 초고성능을 제공합니다.
마쓰사다(Matsusada)의 30년 역사에서 배양된 전문적 노하우와 최첨단 기술을 사용하여 AESS 시리즈는 세계적 수준의 성능을 달성했습니다.
또한 기능 면에서 이 고성능 전원 공급 장치는 전압/전류 모니터를 표준으로 장착하고 있으며, 부착된 광섬유 케이블과 광 절연 컨버터를 사용하여 RS-232C를 통한 디지털 제어도 실현합니다.

특징 및 이점

• 매우 낮은 리플과 높은 안정성
• 낮은 온도 계수, 25 ppm/°C (10 ppm/°C 이하 모델도 가능)
• 전압 및 전류 모니터 포함
• 분리된 Opto-RS232C 컨버터를 통한 원격 제어

응용 프로그램

• 반도체 제조 장비
• 주사전자현미경(SEM)
• 임계차원 주사전자현미경(CD-SEM)
• 전자빔 리소그래피(EBL)
• 집속 이온 빔 (FIB)
• 표면 분석 장비
• AES(오거 전자 분광법)

P 타입 : 양극(+) 출력

N 타입 : 음극(-) 출력

- 라이프텍 인스트루먼트 (Lifetech Instruments)

- Matsusada Precision (마츠사다,마쯔사다) 제품군

(1) AC DC 파워서플라이, (교류,직류) 전원공급기, 전원공급장치 (AC DC Power Supply)

(2) 고전압 직류 파워서플라이 (High Voltage DC Power Supply, ,HV Power Supply)

(3) 전압 증폭기, 바이폴라 파워서플라이 (Voltage Amplifier, Bipolar Power Supply)

(4) 고전압 증폭기, 펄스 제너레이터, 펄스 파워서플라이 (High Voltage (HV) Amplifier, Pulse Generator, Pulse Power Supply)