정전척 전원공급기 (ESC Power Supply)
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EC 시리즈
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출력 전압 : ±1kV ~ ±10kV
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출력 전력 : 200W
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듀얼 출력
정전척 전원공급장치
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ECA 시리즈
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출력 전압 : ±1kV ~ ±10kV
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출력 전력 : 6W,10W,30W
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양극성 출력
정전척 전원공급장치
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HECD 시리즈
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출력 전압 : ±0.5 ~ ±7.5 kV
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출력 전류 : 1~20mA
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2채널 출력형
"NEW" 정전척 전원공급장치
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EJC 시리즈
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출력 전압 : ±1kV ~ ±10kV
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출력 전력 : 6W,10W,30W
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단일 채널 출력
E-Chuck 고전압 전원 공급 장치
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ECU 시리즈
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출력 전압 : ±0.5kV ~ ±5kV
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출력 전력 : 2W ~ 10W
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±500V 라인업
E-Chuck 고전압 전원 공급 장치
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