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제품소개

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply)

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply)

정전척 전원공급기 (ESC Power Supply)

제품명 : MEC 시리즈
제조사 : Matsusada Precision

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply)

모듈형 E-척 전원 공급 장치

출력 전압 : ±1 to ±10 kV
출력 전류 : 1 to 10 mA
출력 전력 : 10 W
견적문의

Overview

정전기 척 전원 공급 장치 가역 모듈

MEC 시리즈는 정전기식 척(E-Chuck) 애플리케이션에 특화된 고전압 가역 전원 공급 모듈입니다. 컴팩트한 폼 팩터로 산업 시스템에 쉽게 통합할 수 있으며, 극성 반전 기능으로 웨이퍼의 원활한 분리가 가능합니다. ±1kV에서 ±10kV까지 폭넓은 제품군을 제공하며, 존슨-라벡(Johnsen-Rahbek)형 및 쿨롱(Coulomb)형 척을 모두 지원합니다.

특징 및 장점

  • 정전기식 척(E-Chuck) 적용 분야에 최적화되어 있습니다.
  • 웨이퍼의 원활한 분리를 위한 가역 출력 극성
  • 출력 전압 및 극성 전환의 원격 제어
  • 출력 전압 및 전류 모니터가 장착되어 있습니다.

주요 응용 프로그램

  • 정전기 척(E-Chuck)

Models

모델
출력
전압 [kV]전류 [mA]
MEC-1R100 ~ ±1 kV10mA
MEC-1.5R6.60 ~ ±1.5 kV6.6 mA
MEC-2R50 ~ ±2 kV5mA
MEC-3R3.30 ~ ±3 kV3.3 mA
MEC-5R20 ~ ±5 kV2mA
MEC-10R10 ~ ±10 kV1mA

Apperance

- 라이프텍 인스트루먼트 (Lifetech Instruments)

- Matsusada Precision (마츠사다,마쯔사다) 제품군

(1) AC DC 파워서플라이, (교류,직류) 전원공급기, 전원공급장치 (AC DC Power Supply)

(2) 고전압 직류 파워서플라이 (High Voltage DC Power Supply, HV Power Supply)

(3) 전압 증폭기, 바이폴라 파워서플라이 (Voltage Amplifier, Bipolar Power Supply)

(4) 고전압 증폭기, 펄스 제너레이터, 펄스 파워서플라이 (High Voltage (HV) Amplifier, Pulse Generator, Pulse Power Supply)

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