Electrostatic Chuck power supply - Benchtop

Matsusada (정전척 전원 공급 장치 - 벤치탑) - HECD 시리즈 - Matsusada Precision

정전 척 드라이버를 위한 2채널, 가역, 플로팅, 프로그래밍 가능 고전압 전원 공급 장치입니다.

HECD 시리즈는 정전 척 드라이버를 위한 2채널, 가역, 플로팅, 프로그래밍 가능한 고전압 전원 공급 장치입니다. 이 시리즈는 극성 스위칭 및 강제 접지 외에도 웨이퍼 감지 요구 사항을 충족하는 웨이퍼 모니터링 시스템을 제공합니다. 또한 이 시리즈는 광범위한 전압으로 쿨롱 및 존슨-라벡 정전 척을 모두 지원할 수 있습니다.

반도체 제조 장비

포토리소그래피

화학 기상 증착(CVD)

플라스마 강화 CVD (PECVD)

정전척(E-Chuck, ESC)

반도체 제조 장비

플랫 패널 취급

반응성 이온 에칭(RIE)

- 라이프텍 인스트루먼트 (Lifetech Instruments)

- Matsusada Precision (마츠사다,마쯔사다) 제품군

(1) AC DC 파워서플라이, (교류,직류) 전원공급기, 전원공급장치 (AC DC Power Supply)

(2) 고전압 직류 파워서플라이 (High Voltage DC Power Supply, HV Power Supply)

(3) 전압 증폭기, 바이폴라 파워서플라이 (Voltage Amplifier, Bipolar Power Supply)

(4) 고전압 증폭기, 펄스 제너레이터, 펄스 파워서플라이 (High Voltage (HV) Amplifier, Pulse Generator, Pulse Power Supply)

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