Electrostatic Chuck power supply - Benchtop

Matsusada (정전척 전원 공급 장치 - 벤치탑) - ECU 시리즈 - Matsusada Precision

E-CHUCK 애플리케이션을 위한 소형 고전압 전원 공급 장치

ECU 시리즈는 E-Chuck 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 출력 ON/OFF 또는 극성 반전(일부 모델 제외) 기능을 통해 부드러운 척 및 디척이 가능합니다.

정전척(E-Chuck, ESC)

- 라이프텍 인스트루먼트 (Lifetech Instruments)

- Matsusada Precision (마츠사다,마쯔사다) 제품군

(1) AC DC 파워서플라이, (교류,직류) 전원공급기, 전원공급장치 (AC DC Power Supply)

(2) 고전압 직류 파워서플라이 (High Voltage DC Power Supply, HV Power Supply)

(3) 전압 증폭기, 바이폴라 파워서플라이 (Voltage Amplifier, Bipolar Power Supply)

(4) 고전압 증폭기, 펄스 제너레이터, 펄스 파워서플라이 (High Voltage (HV) Amplifier, Pulse Generator, Pulse Power Supply)

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