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제품소개

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply)

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply)

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply/ Rack Mount)

제품명 : AESS 시리즈
제조사 : Matsusada Precision

고전압 파워서플라이 (High Voltage Power Supply)

매우 안정적인 출력 고전압 전원 공급 장치

전압 범위: 5~30kV
전류 : 0.5 ~ 6mA
전력: 15~30W

Overview

High Voltage Power Supply - Rack mount

Matsusada (고전압 전원 공급 장치 - 랙 마운트) - AESS 시리즈 - Matsusada Precision


SEM, 반도체 검사 시스템 전원 공급 장치

AESS 시리즈 고전압 전원 공급 장치는 초저 리플, 낮은 온도 계수 및 높은 안정성을 특징으로 하는 초고성능을 제공합니다.


반도체 제조 장비

주사전자현미경(SEM)

임계차원 주사전자현미경(CD-SEM)

전자빔 리소그래피(EBL)

집속 이온 빔 (FIB)

표면 분석 장비

AES(오거 전자 분광법)

Models

P 타입 : 양극(+) 출력

N 타입 : 음극(-) 출력

전압 [kV]전류 [mA]리플 [mVp-p]모델 [+ 출력]모델 [- 출력]
5 kV
3 mA10 mVp-pAESS-5P3AESS-5N3
6 mA10 mVp-pAESS-5P6AESS-5N6
10 kV
1.5 mA20 mVp-pAESS-10P1.5AESS-10N1.5
3 mA20 mVp-pAESS-10P3AESS-10N3
15 kV
1 mA30 mVp-pAESS-15P1AESS-15N1
2 mA30 mVp-pAESS-15P2AESS-15N2
30 kV
0.5 mA50 mVp-pAESS-30P0.5AESS-30N0.5
1 mA50 mVp-pAESS-30P1AESS-30N1

Apperance

- 라이프텍 인스트루먼트 (Lifetech Instruments)

- Matsusada Precision (마츠사다,마쯔사다) 제품군

(1) AC DC 파워서플라이, (교류,직류) 전원공급기, 전원공급장치 (AC DC Power Supply)

(2) 고전압 직류 파워서플라이 (High Voltage DC Power Supply, ,HV Power Supply)

(3) 전압 증폭기, 바이폴라 파워서플라이 (Voltage Amplifier, Bipolar Power Supply)

(4) 고전압 증폭기, 펄스 제너레이터, 펄스 파워서플라이 (High Voltage (HV) Amplifier, Pulse Generator, Pulse Power Supply)

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